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Thermal Process (Furnace, Oven)

MFC Controller

MFC에 Power(±15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0~5 VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치
유량이나 압력값의 단위를 사용자가 직접 입력이 가능함
Gas 조절 등,사용자가 원하는 값을 숫자키를 이용하여 입력하므로 빠르고 편리한 것이 장점
2, 4, 6, 8 Channel 식으로 Channel 추가가 가능
Catalog Contact

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❶Information

- MFC에 Power(±15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0~5 VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치

- 유량이나 압력값의 단위를 사용자가 직접 입력이 가능함

- Gas 조절 등, 사용자가 원하는 값을 숫자키를 이용하여 입력하므로 빠르고 편리한 것이 장점

- 2, 4, 6, 8 Channel 식으로 Channel 추가가 가능

- MFC 대신에 Capacitance Manometer를 연결하여 압력의 측정이 가능

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❷SPEC 

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LIST

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